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化学气相沉积(CVD)金刚石大单晶工业化生产技术研发
出处:研究院  录入日期:2012-02-27  点击数:3820

    本项目采用具有独立知识产权和中国特色的高功率直流旋转电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)技术研发CVD金刚石大单晶的工业化生产技术,是国家“八五”、“九五”期间两个“863”计划重大项目成果。
  本项目技术依靠电弧放电产生的高温(6000℃以上)能在较低压力下(30-50Torr),在很大面积(60mm)上获得CVD金刚石大单晶外延生长所必需的极高原子氢浓度,可以一次生长大量金刚石单晶(预计一次可以生长30粒7.5mmx 7.5mm金刚石大单晶),大大降低生产成本,成本仅为国外技术的1/3-1/5。因此可以成为CVD金刚石大单晶廉价大批量工业化生产技术。目前已经掌握采用DC Arc Plasma Jet生长金刚石大单晶的工艺,并已基本完成工业化生产技术的研发。预计在2年内形成年产1万克拉以上金刚石大单晶(单粒超过1克拉)生产能力。
  项目产品可广泛用于制作精密加工工具的刀尖、航空航天、精密仪器、仪表、光学元件等的精密和超精密加工;在高性能核(粒子)探测器、金刚石高温半导体器件、CVD金刚石单晶首饰(钻戒)、以及高技术领域科学实验等领域有着广阔的市场空间。
  本项目投资少,见效快,利润水平高,并可分步实施大规模的产业化生产。投入产出比超过300%。投资500万元可形成1200克拉的年生产能力,投资3000万元,可形成年产1万克拉的生产能力。

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